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对于5级(100级)和更严格的洁净室的净化空调系统中空气净化器的配置，应根据洁净室的总体设计方案及采用的净化空调系统的要求配置各类净化器，如有的集成电路生产采用4级(0.1um)和更严格要求的洁净室进行新风集中处理。此时，为了严格去除大气中的微粒和各种污染物，通常在新风处理装置中设置粗效、中效(中高效)、亚高效甚至高效净化器和化学净化器等；有的集成电路生产用的洁净室还在生产过程的某些生产区、生产工艺或工艺设备设微环境装置，以确保产品生产所需的空气洁净度要求。
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